白光干涉物镜怎么选择？

更新时间：2025-12-03

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白光干涉仪目前在制造业应用越来越广泛，非接触纳米级检测精度是绝大多数仪器所达不到的。

白光干涉主要是在微小区域Z向检测有很高的精度，而在二维分辨率上只能接近或者达到同等倍数显微镜的分辨率。不同倍数分辨率不同，视场大小也不同。

如果需要检测更大范围的区域就需要使用到图像拼接，也就是先检查一个区域，然后移动到下一个区域，最后合成一个大区域的三维轮廓。有的用户希望能够有超大视场范围的干涉物镜，甚至视场范围可以达到几十毫米，同时希望Z向也可以达到纳米级。

这是白光干涉检测的一个误区，如果检测诸如芯片，往往需要放大几十甚至几百倍才能看清楚二维图像，那么就需要使用高倍数的白光干涉物镜。不但可以检测到三维形貌，而且二维分辨率也很高。

如果被检测的产品，在二维尺寸上不需要特别高的分辨率，诸如微纳台阶的检测，就不需要特别高的二维图像分辨率也可以。这种情况下，无论使用高倍数还是低倍数的干涉物镜都可以。

使用高倍数的物镜，二维分辨率高，比如使用100X可达0.4微米，视场范围80μm左右。如果是10X的物镜，二维分辨率可达1.34μm，视场范围max可达1.6mm。如果需要更大视场的干涉物镜，那么倍数就需要更小，更小的倍数的镜头不但结构体积上会有变化，价格也会成倍的变化，而且景深的加大也会对实际使用带来不便。

追求更大视场是可以提高检测效率，但是对图像的二维细节表现就大打折扣，追求二维细节的三维精度那么就会牺牲检测效率。因此上白光干涉物镜的选择是不能盲目追求大视场的。