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电动XYZ三轴调节台|位移台|升降台

产品简介

电动XYZ三轴调节台|位移台|升降台 电动XYZ三轴调节台,位移台,升降台,XYZ调节台产品特性:标准品真空镀10-3pa到10-4pa 温度范围常温;真空系列位移台项目开发的特种电机样机已经实现在和民用领域的使用。

产品型号:DD-SW01
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电动XYZ三轴调节台|位移台|升降台产品参数:


型号DD-SW01
Z轴参数X Y轴参数
结构描述行程Z轴升降行程50mmX、Y轴位移行程50mm
台面尺寸120×120mm155×155mm
螺杆规格精密滚珠螺杆(导程4mm)高研丝杆副
导轨精密线性滑块导轨精密级交叉滚柱导轨
步进电机(步距角)42(1.8°)信浓28(1.8°)
主体材料铝合金铝合金
表面处理阳极氧化发黑阳极氧化发黑
台面中心负载30kg10kg
平台自重2.8kg3.2kg
精度描述8细分分辨率2.5μm5μm(无细分),0.625μm(8细分)
速度20mm/sec6mm/sec
重复定位精度5μm8μm
定位精度(选配光栅)8μm10μm
直线度5μm5μm
运动平行度10μm15μm
俯仰25"50"
偏摆20"25"
回程间隙2μm2μm
丢步运动3μm2μm
附件描述
           
可加装失电制动功能(Z)——

           
可加装光栅尺(G)可加装光栅尺(G)

           
可换装伺服电机(D)可换装伺服电机(D)

           
可加装防尘罩(F)——





 

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