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高精度电动平移台系列
纳米 压电平台
三维小体积压电纳米定位台PT-NMXYZ30
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产品参数:
| 按要求定制 | ||
| 型号 | PT-NMXYZ30 | |
| 运动自由度 | X、Y、Z | |
| 驱动控制 | 1路驱动,1路传感 | |
| X,Y方向行程 | 大于40μm | |
| Z轴行程 | 40μm | |
| X轴精度 | 高于500nm | |
| Y,Z方向精度 | 高于1000nm | |
| 标称行程范围(0~120V) | 80μm±10% | |
| Max.行程范围(0~150V) | 100μm±10% | |
| 传感器类型 | SGS/- | |
| 闭/开环分辨率 | 3/0.1nm | |
| 闭环线性度 | 0.05/-%F.S. | |
| 闭环重复定位精度 | 0.02/-%F.S. | |
| 俯仰/偏航/滚动 | <10μrad | |
| 推/拉力 | 30/10N | |
| 运动方向刚度 | 0.3N/μm±20% | |
| 空载谐振频率 | 0.3kHz±20% | |
| 闭/开环空载阶跃时间 | 10/0.8ms±20% | |
| 闭环工作频率(-3dB) | 70(负载100g)Hz±20% | |
| 承载能力 | 水平安装 | 0.8kg |
| 立式安装 | 0.05kg | |
| 倒置安装 | 0.8kg | |
| 静电容量 | 1.8μF±20% | |
| 材质 | 钢、铝 | |
| 重量 | 100g±5% | |
产品尺寸:

高精科技有限责任公司是一家集光学、精密机械、自动化控制等技术于一体的高科技自主研发企业,一直服务于科研大专院校,根据不同客户需求,研发配套软硬件系统产品,涵盖光学元器件、精密机械部件、自动控制、等大类通过长期的不懈努力、对光路搭建系统的工艺把控和对客户的优良服务,在科研、大专院校、机械自动化等诸多领域成长为厂商。公司的长焦镜头,自动化机械控制台、手动控制台、高亮度光源等产品,产品注重模块化,集成化,已形成量产,规格全、提供长期稳定的服务、同时提供定制服务。
目前主要产品:中空显微扫描平台 中空转台 直线电机平台 电动旋转台 电动六维台 六维调节平台 六轴干涉仪调整架 六轴镜架 手动升降台 角度调节台 方位调节台 电动升降台 三轴调节台 XYZ调节台 光学平台 光学平板 拉伸平台 倾斜台 高真空电动平台 真空平台 光学平台 面包板 电动角位台 手动角位台 长工作距物镜 大数值孔径物镜
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