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产品中心高精度电动平移台系列高精度直线电机位移台XY轴机械直驱直线台精度±100nm、±150nm
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详细价格根据客户提供的参数确定
ZAT-XY100产品特点：
·纳米级的定位精度
·高动态性能（截止频率大于100Hz）
·交叉滚柱轴承
·灵活的配置选项（XY可定制不等距行程）
·低侧面高度，XY一体式设计
·分辨率1nm，重复定位精度±150nm，定位精度±250nm在位稳定性3nm（配置线性驱动器(需单独购买)，带隔振实验室环境）
ZFT-XY200、XY300产品特点：
·XY一体式设计直驱平台
·双轴四电机驱动，动态性能出色
·交叉滚柱导轨
·结构紧凑，低侧面高度，阿贝误差小
·200mm*200mm和300mm*300mm行程可选
·分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±300nm
·在位稳定性3nm（配置ASH反馈选项和线性放大器(需单独购买)）
·多种反馈选项
产品参数：
| 型号 | ZAT-XY100 | |
| 有效行程 | 100*100mm | |
| 绝对定位精度 | ±300nm | |
| 双向重复定位精度 | ±150nm | |
| 俯仰 | 12 arc sec | |
| 偏摆 | 12 arc sec | |
| 正交性 | 15 arc sec | |
| 直线度 | ±2μm | |
| 平面度 | ±2μm | |
| 移动部分重量 | 上轴 | 1.7kg |
| 下轴 | 4.4kg | |
| 平台重量 | 6.1kg | |
| 最大负载 | 12.0kg | |
| 分辨率 | 1nm | |
| 最小步进量 | 5nm | |
| 在位稳定性 | 3nm | |
| 最大速度 | 500mm/s | |
| 最大加速度 | 1g | |
| 持续推力 | 上轴 | 19N |
| 下轴 | 21N | |
| 峰值推力 | 上轴 | 133N |
| 下轴 | 147N | |
| 平台材质 | 钢+镀镍 | |
| 平均wu gu zhang时间 | 27,000 Hours | |
| 型号 | ZFT-XY200 | ZFT-XY300 |
| 有效行程 | 200mm*200mm | 300mm*300mm |
| 绝对定位精度 | ±0.3μm | ±0.5 μm |
| 双向重复定位精度 | ±0.1 μm | ±0.15 μm |
| 俯仰 | 15 arc sec | 18 arc sec |
| 偏摆 | 8 arc sec | 10 arc sec |
| 直线度 | ±1.5μm | ±2μm |
| 平面度 | ±1.5μm | ±2μm |
| 正交性 | 15 arc sec | 15 arc sec |
| 最大速度 | 800 mm/s | 800 mm/s |
| 最大加速度 | 1.5g | 1.5g |
| 持续推力 | 48.8 N | 163.6 N |
| 峰值推力 | 340.8 N | 1013.2N |
| 最大负载 | 20 kg | 30 kg |
| 平台重量 | 27.9 kg | 70 kg |
| 电子分辨率 | 1nm | |
| 最小步进量 | 5nm | |
| 在位稳定性 | 3nm | |
| 平台材质 | 铝 | |
| 平均wu gu zhang时间 | 27,000 Hours | |
产品尺寸：
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