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产品中心高精度电动平移台系列高精度电动三维台HE-SN5020高精度 XYZ三轴调节台电动三维位移台
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产品参数：
| 产品型号 | HE-SN5020 | |
| XY平移参数 | ||
| 结构描述 | X,Y轴行程 | 50mm |
| 台面尺寸 | 155×155mm | |
| 螺杆规格 | 高研丝杆副 | |
| 导轨 | 精密级交叉滚柱导轨 | |
| 步进电机(步距角) | 日本信浓28(1.8°电机) | |
| 主体材料 | 铝合金 | |
| 表面处理 | 阳极氧化发黑 | |
| 台面承载(kg) | 10 | |
| 重量(kg) | 3.2 | |
| 精度描述 | 分辨率 | 5μm(无细分)， 0.625μm(8细分） |
| 速度 | 6mm/sec | |
| 重复定位精度 | 8μm | |
| 定位精度(选配光栅) | 10μm | |
| 直线度 | 5μm | |
| 运动平行度 | 15μm | |
| 俯仰 | 50" | |
| 偏摆 | 25" | |
| 回程间隙 | 2μm | |
| 丢步 | 2μm | |
| 可加装光栅尺(G) | ||
| 可换装伺服电机(D) | ||
| Z轴升降参数 | ||
| 结构描述 | 行程 | 20mm |
| 台面尺寸 | 86×86mm | |
| 丝杠 | 直推电机丝杠 | |
| 导程 | 0.794MM | |
| 导轨形式 | 交叉滚子导轨 | |
| 主要材料 | 铝合金 | |
| 表面处理 | 黑色氧化 | |
| 自重 | 1.5kg | |
| 精度描述 | 分辨率 | 7.938μm (无细分) |
| 0.397μm (20细分) | ||
| 速度 | ≤5mm/sec | |
| 精度 | 1.5μm | |
| 承载能力 | 10kg | |
| 空行程 | 5μm | |
| 平行度 | 50μm | |
| 运动平行度 | 15μm | |
| 俯仰 | 25" | |
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