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高精度电动平移台系列
压电陶瓷纳米台
NM-480标准线性压电陶瓷纳米台 行程110μm
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产品描述:
产品参数:
| 型号 | NM-480 | NM-480S | 公差8 |
| 运动轴 | X、Y、Z | X、Y、Z | —— |
| 集成传感器 | —— | SGS | —— |
| 标称行程范围²(@0~+120V) | 80 μm x 80 μm x 80 μm | 80 μm x 80 μm x 80 μm | ±10% |
| 最大行程范围²(@-20~+150V) | 110 μmx 110 μmx110μm | 110 μmx 110 μmx110μm | ±20% |
| 分辨率3 | 0.7nm | 1.5nm | typ. |
| 最小移动步长4 | 3.0nm | 3.0nm | typ. |
| 线性wucha | —— | 0.05% | typ. |
| 重复定位精度(全行程) | —— | 0.05% | typ. |
| 角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转) | 10μrad | 10μrad | typ. |
| 承载能力5 | 7N | 7N | Max. |
| 谐振频率(0g) | (XYZ)300Hz、200Hz、180Hz | (XYZ)300Hz、200Hz、180Hz | ±20% |
| 运动方向刚度 | 0.2N/μm | 0.2N/μm | ±20% |
| 运动方向推力/拉力 | 30N/5N | 30N/5N | ±20% |
| 驱动机构 | PZT | PZT | —— |
| 工作温度范围 | -20~+80°C | -20~+80°C | typ. |
| 线缆长度6 | 1.5m | 1.5m | ±10mm |
| 中空尺寸 | —— | —— | —— |
| 外形尺寸(长×宽×高) | 40x40x36.5mm | 40x40x36.5mm | —— |
| 重量7 | 220g | 220g | ±5% |
| PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | —— |
| 本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | —— |
产品尺寸:

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