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NM-480标准线性压电陶瓷纳米台 行程110μm

产品简介

NM-480标准线性压电陶瓷纳米台 平移台 XYZ三轴运动 行程110μm

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产品描述:

        NM-480系列是具有纳米级定位分辨率的高速,多轴,精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性,可以配置 XY 或 XYZ 运动并拥有独立的 Z/X 轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环,可进行重复的位置测量。
        XYZ 产品利用先进的平行运动原理,这意味着所有促动器直接作用在移动平台上。与具有诸如单级叠堆串联运动学的其他压电系统不同,压电叠堆线性平移台形状系数更小、惯性更低,因而可以实现更快的运动。
       紧凑型设计,外形尺寸仅有 40x40x36.5mm,具有体积小巧,高稳定性,高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。适用于空间需求的多轴运动定位场合。参数可根据客户要求定制。
       NM-480压电纳米采用独特的 SGS 式传感器设计,具有闭环反馈选项,可实现亚纳米级分辨率和高线性度。SGS 传感器直接测量位置反馈,从而实现出色的定位精度和可重复性。

产品参数:

型号NM-480NM-480S公差8
运动轴X、Y、ZX、Y、Z——
集成传感器——SGS——
标称行程范围²(@0~+120V)80 μm x 80 μm x 80 μm80 μm x 80 μm x 80 μm±10%
最大行程范围²(@-20~+150V)110 μmx 110 μmx110μm110 μmx 110 μmx110μm±20%
分辨率30.7nm1.5nmtyp.
最小移动步长43.0nm3.0nmtyp.
线性wucha——0.05%typ.
重复定位精度(全行程)——0.05%typ.
角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转)10μrad10μradtyp.
承载能力57N7NMax.
谐振频率(0g)(XYZ)300Hz、200Hz、180Hz(XYZ)300Hz、200Hz、180Hz±20%
运动方向刚度0.2N/μm0.2N/μm±20%
运动方向推力/拉力30N/5N30N/5N±20%
驱动机构PZTPZT——
工作温度范围-20~+80°C-20~+80°Ctyp.
线缆长度61.5m1.5m±10mm
中空尺寸——————
外形尺寸(长×宽×高)40x40x36.5mm40x40x36.5mm——
重量7220g220g±5%
PZT&Sensor连接器LEMOLEMO——
本体材质铝、钢铝、钢——

产品尺寸:

NM-480标准线性压电陶瓷纳米台 行程110μm


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