压电陶瓷纳米台标准线性平移台 12~60μmHE-NM45-北京高精科技有限责任公司

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压电陶瓷纳米台标准线性平移台 12~60μm

产品型号：HE-NM45

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产品描述：

1、高速运动、直接驱动

2、设计小巧紧凑

3、闭环控制

4、可堆叠进行XY 运动

X 轴纳米定位线性位移台是基于压电控制的线性位移台，行程包括 12/30/45/60μm 及可定制其他行程版本。

HE-NM45 系列压电纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷作为驱动元件，利用有限元优化的固态挠性导向系统可确保好的平移运动。平台采用了无摩擦柔性机构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描等。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。

压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏位移台。

选配功能：可定制转接工装、可选PZT&Sensor 连接器及线缆长度、可选配闭环(SGS) 位置反馈系、可组维、可定制其他行程。

应用领域：扫描显微镜、光纤端面检测、干涉仪、测量技术、3D 锡膏检测、光子、光纤定位、干涉、纳米光刻、纳米定位、电化学加。

产品参数：

规格型号 1	HE-NM45-01	HE-NM45-030	HE-NM45-045	HE-NM45-060	公差 8
运动轴	X	X	X	X	-
集成传感器	SGS	SGS	SGS	SGS	-
标称行程范围 2（@0~+120V）	12 μm	30 μm	45 μm	60 μm	±5%
最大行程范围 2（@-20~+150V）	20 μm	40 μm	60 μm	80 μm	±20%
分辨率 3	0.1 nm	0.3 nm	0.4 nm	0.5 nm	typ.
最小移动步长 4	0.4 nm	1.0 nm	1.5 nm	2.0 nm	typ.
线性误cha	0.02%~0.05%	0.02%~0.05%	0.02%~0.05%	0.02%~0.05%	typ.
重复定位精度（全行程）	0.05%	0.05%	0.05%	0.05%	typ.
角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转）	10 μrad	10 μrad	10 μrad	10 μrad	typ.
承载能力 5	50 N	50 N	50 N	50 N	Max.
谐振频率（0g）	3000 Hz	2500 Hz	2000 Hz	1500 Hz	±20%
运动方向刚度	40 N/μm	40 N/μm	40 N/μm	40 N/μm	±20%
运动方向推力/拉力	450N / 100N	450N / 100N	450N / 100N	450N / 100N	±20%
驱动机构	PZT	PZT	PZT	PZT	-
工作温度范围	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	typ.
线缆长度 6	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	-	-	-	-	-
外形尺寸（长×宽×高）	45 ×45 ×15 mm	45 ×63 ×15 mm	45 ×81 ×15 mm	45 ×99 ×15 mm	-
重量 7	65 g	100 g	150 g	200 g	±5%
PZT&Sensor 连接器	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO	-
本体材质	铝	铝	铝	铝	-