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小体积、紧凑型线性压电陶瓷纳米定位台

产品简介

小体积、紧凑型线性压电陶瓷纳米定位台NM-030定制品价格请联系

产品型号:NM-030
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产品描述:
NM-030紧凑型线性纳米定位台采用平行运动学机械设计结构,其位移沿Z方向可提供30μm行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。
Z轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台。
NM-030位移台可以轻松地与XY和压电偏转旋转系统结合使用,以提供所有自由度的定位。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器,可实现高精度和可重复的运动,还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。
NM-030非常适用于小部件例如反射镜和激光二极管)的纳米级精确定位,特别是在需要长期稳定性的应用中。

产品参数:

型号NM-030NM-030S公差
运动轴ZZ——
集成传感器——SGS——
标称行程范围(@0~+120V)30μm30μm±5%
最大行程范围(@-20~+150V)38μm38μm±20%
分辨率0.3nm0.6nmtyp.
最小移动步长1.0nm1.0 nmtyp.
线性误cha——0.02%~0.05%typ.
重复定位精度(全行程)——0.05%typ.
角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转)5μrad5μradtyp.
承载能力8N8NMax.
谐振频率(0g)350Hz350 Hz±20%
运动方向刚度0.5N/μm0.5N/μm±20%
运动方向推力/拉力30N/10N30N /10N±20%
驱动机构压电陶瓷压电陶瓷——
工作温度范围-20~+80℃-20~+80 °℃typ.
线缆长度1.5m1.5 m±10mm
中空尺寸——————
外形尺寸(长×宽×高)27×27×20mm27×27×20mm——
重量40g40g±5%
PZT&Sensor连接器LEMOLEMO——
本体材质钢、铝钢、铝——





























注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)测得,欲了解更多信息,请与我们联系。表中“-"表示为不适用。

1.尾缀“-S"为闭环,内置位置传感器。开环尾缀不带“-S,无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0...+120V,更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS(1σ)值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值,它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下,参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。
5.轴向载荷,更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中 Max.表示最大值;typ.表示标准典型数据值,检测报告中会给出实际的测量数据值

产品尺寸:

小体积、紧凑型线性压电陶瓷纳米定位台


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