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Z 轴小体积纳米位移台压电陶瓷纳米台

产品简介

Z 轴小体积纳米位移台压电陶瓷纳米台NM-005 NM-010定制价格联系

产品型号：NM-005 NM-010
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产品描述：

NM-005为Z向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。

底部平台固定安装孔可选择M3螺纹孔，便于用户方便安装，订购时需要指出。默认版本的平台固定孔为直径2.2 通孔。
形行程范围为5μm（闭环）。
NM-010为Z向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
压电位移台可提供SGS传感器反馈或无反馈（开环）。
对于需要紧凑的尺寸，高动态性和亚纳米级的定位分辨率，但又不需要绝对的定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计版本。

产品参数：

型号NM-005NM-005SNM-010NM-010S公差
运动轴ZZZZ——
集成传感器——SGS——SGS——
标称行程范围(@0~+120V)5μm5 μm10μm10μm±5%
最大行程范围(@-20~+150V)7μm7μm12μm12μm±20%
分辨率0.05nm0.1nm0.1nm0.2nmtyp.
最小移动步长3.0nm3.0 nm0.4nm0.4 nmtyp.
线性误cha——0.2%——0.2%typ.
重复定位精度(全行程)——0.1%——0.2%typ.
角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转)5μrad5μrad5μrad5μradtyp.
承载能力8N8N8N8NMax.
谐振频率(0g)2500Hz2500 Hz2300Hz2300 Hz±20%
运动方向刚度2N/μm2 N/μm2N/μm2 N/μm±20%
运动方向推力/拉力12N/2N12N /2N12N/2N12N /2N±20%
驱动机构压电陶瓷压电陶瓷压电陶瓷压电陶瓷——
工作温度范围-20~+80℃-20~+80 °℃-20~+80℃-20~+80 °℃typ.
线缆长度1.5m1.5 m1.5m1.5 m±10mm
中空尺寸——————————
外形尺寸(长×宽×高)30×30×24mm30×30×24mm30×30×29.2mm30×30×29.2mm——
重量70g70g80g80g±5%
PZT&Sensor连接器LEMOLEMOLEMOLEMO——
本体材质铝铝铝铝——


注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-"表示为不适用。
1.尾缀“-S"为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带"-S，无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0.+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS（1σ）值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下，参数表中为16-Bit对应的位移步长值。
5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。

产品尺寸：


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