Name: 大行程型线性压电陶瓷纳米定位台NM-200
Brand: 其他品牌
Availability: InStock

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大行程型线性压电陶瓷纳米定位台

产品型号：NM-200

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产品描述：

NM-200紧凑型线性纳米定位台，沿Z方向可提供200μm行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。Z轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台，由于固态弯曲和平行结构，这些压电平台可以在X和Z方向上移动而没有任何机械间隙。它们可提供比机械或机电系统更高的分辨率。

NM-200系列位移台可以轻松地与XY和压电偏转旋转系统结合使用，以提供所有自由度的定位。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。

NM-200非常适用于小部件例如反射镜和激光二极管）的纳米级精确定位，特别是在需要长期稳定性的应用中。

产品参数：

型号	NM-200	NM-200S	公差
运动轴	Z	Z	——
集成传感器	——	SGS	——
标称行程范围(@0~+120V)	200μm	200μm	±10%
最大行程范围(@-20~+150V)	240μm	240μm	±20%
分辨率	1.8nm	3.6nm	typ.
最小移动步长	7.0nm	7.0nm	typ.
线性误cha	——	0.02%~0.05%	typ.
重复定位精度(全行程)	——	0.05%	typ.
角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转)	10μrad	10μrad	typ.
承载能力	5N	5N	Max.
谐振频率(0g)	420Hz	420 Hz	±20%
运动方向刚度	0.5N/μm	0.5N/μm	±20%
运动方向推力/拉力	30N/10N	30N /10N	±20%
驱动机构	压电陶瓷	压电陶瓷	——
工作温度范围	-20~+80℃	-20~+80 °℃	typ.
线缆长度	1.5m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	——	——	——
外形尺寸(长×宽×高)	54×54×25mm	54×54×25mm	——
重量	95g	95g	±5%
PZT&Sensor连接器	LEMO	LEMO	——
本体材质	钢、铝	钢、铝	——

注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-"表示为不适用。

1.尾缀“-S"为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“S，无线性误差、重复度数据。

2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0..+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。

3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS（1σ）值进行测量和指定

4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下，参数表中为16-Bit对应的位移步长值。

5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。

6.更长的线缆长度请咨询。

7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。

产品尺寸：

大行程型线性压电陶瓷纳米定位台

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